La temperatura y la humedad del espacio de construcción del laboratorio se determinan principalmente de acuerdo con los requisitos del proceso, pero el nivel de comodidad humana debe tenerse en cuenta al cumplir los requisitos del proceso. Con la mejora de los requisitos de limpieza del aire, ha habido una demanda cada vez más estricta de la temperatura y la humedad del proceso. Los requisitos específicos del proceso para la temperatura se enumerarán más adelante, pero como principio general, debido a la precisión de procesamiento cada vez más fina, los requisitos para el rango de fluctuación de temperatura son cada vez más pequeños.
Por ejemplo, en el proceso de exposición de litografía de producción de circuito integrado a gran escala, la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre el cristal y la oblea de silicio como material de máscara se requiere que sea más pequeña y más pequeña. Oblea de silicio de 100 um de diámetro, el aumento de temperatura de 1 grado, causó una expansión lineal de 0.24um, debe tener una temperatura constante de ± 0.1 grados, mientras que el valor de humedad requerido es generalmente más bajo, porque la gente suda, el producto será contaminado, en particular, tiene miedo del taller de semiconductores de sodio, la temperatura de este taller no debe exceder los 25 grados, el problema de la humedad excesiva genera más problemas. Cuando la humedad relativa supera el 55%, se formará condensación en la pared de la tubería de agua de refrigeración. Si ocurre en un dispositivo o circuito de precisión, causará varios accidentes.
Regulaciones de presión
Para la mayoría de las salas limpias, es necesario mantener la presión interna (presión estática) más alta que la presión externa (presión estática) para evitar la intrusión de contaminación externa. El mantenimiento de la diferencia de presión generalmente debe cumplir con los siguientes principios:
1. La presión del espacio limpio es mayor que la presión del espacio no limpio.
2. La presión del alto nivel de limpieza es más alta que la presión del bajo nivel de limpieza adyacente.
El mantenimiento de la diferencia de presión depende de la cantidad de aire fresco que puede compensar la cantidad de aire que se escapa del espacio bajo esta diferencia de presión. Entonces, el significado físico de la diferencia de presión es la resistencia a la fuga (o penetración) cuando el volumen de aire pasa a través de varios espacios en la sala limpia.
Regulaciones de velocidad del aire en la sala limpia
La velocidad del flujo de aire que se discutirá aquí se refiere a la velocidad del flujo de aire en la sala limpia. La velocidad del flujo de aire en otras salas limpias se discute cuando se habla de equipos específicos.
Para la sala limpia turbulenta Debido a que los principales dependen principalmente de la dilución del aire para reducir el grado de contaminación interior, el concepto de cantidad de cambios de aire se utiliza principalmente en lugar de utilizar directamente el concepto de velocidad, pero también están los siguientes requisitos para la velocidad del aire interior;
(1) La velocidad del aire en la salida de la salida de aire no debe ser demasiado grande. En comparación con una habitación simple con aire acondicionado, requiere una mayor velocidad de atenuación y un mayor ángulo de propagación.
(2) La velocidad del flujo de aire (por ejemplo, la velocidad de recirculación en el momento de la alimentación lateral) que se sopla sobre el plano horizontal no debe ser demasiado grande para no inflar las partículas de la superficie y volver al flujo de aire. causa recontaminación. En general, no se recomienda que esta velocidad sea tan grande como 0.2 m / s.
Para la sala limpia de flujo paralelo "comúnmente conocida como la sala limpia laminar", la velocidad de la sección transversal es un indicador muy importante debido al hecho de que el pistón se usa principalmente para el flujo de aire para excluir el teñido. En el pasado, se hizo referencia al estándar de 20gB de los Estados Unidos y se utilizó 0,45. Sra. Pero las personas también han aprendido que la cantidad de ventilación requerida para una velocidad tan grande es muy grande. Para ahorrar energía, también están buscando la posibilidad de reducir la velocidad del viento.
En China, tanto las medidas de Air Cleantech como el código de diseño de sala limpia son
Sala limpia de flujo paralelo vertical (flujo laminar) ≥0.25m / s
Cámara limpia de flujo paralelo horizontal (flujo laminar) ≥ 0.35 m / s
Control de ruido
Los estándares de ruido para la construcción de laboratorios limpios son generalmente más estrictos que aquellos para la protección de la salud. El objetivo es garantizar que las operaciones se lleven a cabo normalmente y que se cumplan el contacto de conversación necesario y un entorno de trabajo seguro y cómodo. Por lo tanto, el indicador principal de ruido en una sala limpia es.
1. El efecto de los problemas
Debido al ruido, las personas se sienten incómodas y tienen problemas emocionales. En general, están divididos en muy tranquilo, muy tranquilo, silencioso, un poco ruidoso, relativamente ruidoso y extremadamente ruidoso. Donde el nivel de respuesta es muy ruidoso y extremadamente ruidoso, es alta la ansiedad, y el porcentaje de alto número de problemas en el número total es una alta tasa de ansiedad.
2. Impacto en la eficiencia del trabajo
Esto depende principalmente del nivel de respuesta en las tres áreas. Estos tres aspectos son: concentración, precisión de la acción y velocidad del trabajo;
3. Interferencia con las comunicaciones integradas