Sala limpia se refiere a la remoción de partículas, aire nociva, bacterias y otros contaminantes en el aire dentro de un cierto rango de espacio, temperatura, limpieza, presión interior, velocidad de flujo de aire y distribución de flujo de aire, ruido y vibración, y control de electricidad estática. Dentro de cierta gama de necesidades, se da un cuarto especialmente diseñado. Es decir, no importa cómo cambian las condiciones de aire exterior, el interior de la habitación puede todos tienen las propiedades de mantenimiento de los requisitos establecidos previamente como limpieza, temperatura, humedad y presión.
La función principal de una sala limpia es para controlar la limpieza, temperatura y humedad de la atmósfera, que productos (como los chips de silicio) táctil, para que el producto puede ser producido y fabricado en un buen ambiente. Este espacio se llama un cuarto limpio. Según la práctica internacional, el nivel de purificación libre de polvo está regulado principalmente por el número de partículas por metro cúbico de aire que es más grande que el estándar de particionado. En otras palabras, el supuesto libre de polvo no es 100% sin polvo un poco, pero está controlada en una cantidad muy pequeña de unidades. Por supuesto, las partículas de polvo-norma en la presente norma ya son pequeñas en relación con nuestro polvo común, pero de construcción óptica, incluso un poco de polvo tiene un impacto negativo muy grande, por lo que en la producción de productos de construcción óptica polvo no es un requisito inevitable.
El número de partículas de polvo fino con un diámetro de menos de 0,3 μm por metro cúbico es controlado debajo de 3.500 para llegar a la clase A de la norma internacional libre de polvo. En la actualidad, el estándar libre de polvo aplicado al procesamiento y producción de la viruta requiere más polvo que categoría. Estos altos estándares se aplican principalmente a la producción de algunos chips de alto nivel. 0.5uM y debajo de la cantidad de polvo fino está estrictamente controlado en 1.000 por metro cúbico, que es también conocido como el nivel de 1 K industria.